2026年11月5日—7日，2026天津大学纳米科学与芯片工程学术交流会暨第十六届微光刻技术交流会在天津大学卫津路校区举办。本次会议由天津大学、天津市河西区科学技术协会主办，天津大学纳电子科学与芯片工程学院、天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心、低维电子材料海河实验室联合承办。会议聚焦微光刻技术、微纳加工与芯片工程核心议题，吸引来自国内外高校、科研院所及产业界的专家学者、科研骨干、技术管理人员共计400余人参会，围绕微光刻工艺、微纳制造装备、光电子集成、集成电路版图与装备等前沿方向开展深度交流研讨。
大会开幕式上，天津市发改委创新和高技术发展处二处处长金飞、天津市科技局实验室处处长汤桂兰、天津市教委科研处处长李英霞，中国科学院微电子研究所研究员陈宝钦，中国科学院物理研究所研究员、松山湖材料实验室副主任冯稷，天津大学校长助理、党办校办主任黄辉，天津大学纳电子科学与芯片工程学院院长马雷，天津大学宣怀学院副院长、北洋海棠基金发起合伙人、庞加莱科技CEO杨晓峰，天津大学宣怀学院副院长张琳等领导与专家出席活动。开幕式由天津大学纳电子科学与芯片工程学院党委书记刘岳主持。
黄辉在致辞中表示天津大学自建校以来始终立足服务国家战略与产业发展需求，在资源循环、智能制造、数字信息等领域前瞻布局、超前谋划，并于 2026年5月正式组建纳电子科学与芯片工程学院。学校始终坚持“四个面向”，大力强化科研建设，在电子科学与技术、材料科学、精密仪器等学科方向积淀了扎实的科研基础，产出了一批高质量科研成果。希望以本次大会为纽带，汇聚学术界与产业界智慧，深化多方协同合作，共同推动微光刻领域实现新的突破。
金飞表示，感谢天津大学在人才培养与科研成果产出方面，为天津市高质量发展奠定了坚实基础。天津市高度重视集成电路产业发展，培育打造了多项特色产业项目，集聚形成一批优势企业。市发改委全力推动集成电路及电子技术相关成果产业化落地，希望各位专家、来宾积极开展集成电路领域科技合作，促成更多优质项目落地天津。
马雷介绍了天津大学纳电子科学与芯片工程学院面向国家集成电路重大战略需求的建设进程，学院聚焦纳电子、芯片工程两个核心研究方向，着力培养芯片领域高层次复合型人才，围绕低维材料、微纳加工、先进器件以及相关半导体表征和制备仪器装备等关键技术开展科研攻关，着力推动基础科研成果向产业应用转化，努力构建“基础研究—技术攻关—产业赋能”的完整链条。
本次大会学术交流环节共设特邀报告24场，分为5个专题，分别邀请了冯稷研究员、王德强研究员、程秀兰教授、蒋平先生、王云翔先生担任主持人，汇报专家先后以《电子束光刻胶的性能与应用》《极限加工技术及应用》《国产100 kV电子束光刻机10 nm时代的关键技术突破》等为题作报告，从电子束光刻技术、微纳加工、光电子集成、先进装备等不同维度，分享微光刻与微纳制造领域的前沿探索与实践，呈现从基础研究、关键技术突破到工程化应用的发展路径。
复旦大学陈宜方教授、国家纳米中心董凤良研究员、中国电子科技集团公司第四十八研究所张新刚研究员、中国科学院光电技术研究所刘俊伯研究员、中国科学院重庆绿色智能技术研究院王德强研究员、南开大学吴强教授、中国科学技术大学周典法老师、苏州大学浦东林教授进行主报告，多位学者在论坛上开展精彩宣讲。
会议进行了2026—2027年两届承办方交接牌仪式。第十六届技术交流会承办单位代表、天津大学马雷教授移交会牌并致感谢词，对各委员单位、报告专家、赞助企业和会务人员的支持表示感谢；第十七届技术交流会承办单位代表、深圳市微纳制造产业促进会会长王大伟女士和深圳国际量子研究院研究员张振生先生接会牌并致欢迎词，向与会专家发出下一届会议的参会邀约。
会代表前往天开高教科创园、天津庞加莱科技有限公司参观考察，实地了解地方科创平台的运行情况与科技企业的技术成果，把会场内的学术讨论延伸到研发与生产一线。
光映科技、伊领科思、GenISys GmbH、Raith锐时科技、赛默飞、雷尼绍、日本电子等企业对本次大会给予赞助支持。
第十六届微光刻技术交流会的举办，是天津大学服务国家集成电路产业发展需求、推动微纳制造领域交叉创新的重要举措。未来，学校将进一步汇聚高校、科研机构和产业界力量，推动创新资源协同集聚，加快形成具有影响力的科技创新生态，为发展新质生产力、实现高水平科技自立自强贡献天大智慧和天津力量。
